NX-Hivac 高真空原子力显微镜

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NX-Hivac NX-Hivac 高真空原子力显微镜

型号
NX-Hivac

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上海纳腾仪器有限公司是一家专注于为微纳米科学领域提供综合性解决方案,为

全国各大高校、科研院所及企事业单位提供*的微纳米科学仪器。

目前上海纳腾已成为国内少数几家专业提供微纳米科学仪器的企业,在微纳加工仪器,微纳表征仪器,微纳仪器耗材,微纳加工测试等相关领域,拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售中、售后的服务。

详细信息

Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比,高真空测量具有准确度高、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点,因此用户可测量各种故障分析应用中许多信号响应,例如扫描扩散电阻显微术(SSRM)的掺杂物浓度。Park NX-Hivac使得真空环境中高精确度和高分辨率测量的材料科学研究远离氧气与其它药剂的影响,在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力,从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。



如此可延长各针尖的使用寿命,使扫描更加低成本和便捷,并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为精确的结果。因此,利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。


基本技术参数

扫描仪

光学显微镜

样品台

XY扫描仪:50 μm x 50 μm

100 μm x 100 μm可选)

物镜:10x

5M pixel CCD

XY平台行程22 mm x 22mm

样品大小:50mm x 50mm,厚度20 mm

物理信息

软件

高真空

真空室:300mm x 420mm x 320mm

SmartScanPark AFM操作软件

XEI: AFM数据分析软件

Hiva Manager:自动真空控制软件

真空等级:小于 1 x 10-5 torr

泵速:5 min内达到10-5 torr


主要功能

用于失效分析应用的高真空扫描

Park NX-Hivac允许故障分析工程师通过高真空SSRM提高的灵敏和分辨率。高真空扫描能提供比大气或干燥N2条件下更高的精度,更好的可重复性,还能减少针尖和样品损伤 ,用户从而可以在失效分析应用中测量更广阔范围的涂料浓度和信号强度,

高级的自动化特征

用户所需的输入操作简单,用户可以更快地扫描从而提高实验室的实验成果。


应用

在二维金属材料电性能方面的研究

C-AFM in Air vs High Vacuum MoS2

在空气和真空下MoS2 AFM


相关文献

Jonathan Ludwig et al,”Effects of buried grain boundaries in multilayer MoS2”Journal:Nanotechnology, Volume 30, Number 28.

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