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NX-3DM NX-3DM 可旋转全自动原子力显微镜
- 型号
- NX-3DM
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上海纳腾仪器有限公司是一家专注于为微纳米科学领域提供综合性解决方案，为
全国各大高校、科研院所及企事业单位提供*的微纳米科学仪器。
目前上海纳腾已成为国内少数几家专业提供微纳米科学仪器的企业，在微纳加工仪器，微纳表征仪器，微纳仪器耗材，微纳加工测试等相关领域，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售中、售后的服务。
详细信息
Park Systems推出革命性的NX-3DM全自动原子力显微镜系统，专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角的测量而设计。借助的XY轴和Z轴独立扫描系统和倾斜式Z轴扫描器，NX-3DM成功克服精确侧壁分析中的法向和喇叭形头所带来的挑战。在True Non-Contact™模式下，XE-3DM可实现带有高长宽比的柔软光刻胶的无损测量。
纳米测量的精确性和高通量需要搭配高成本效益的解决方案，才能够从研究领域扩展到实际生产应用中。面对这一成本挑战，Park Systems带来了工业级的原子力显微镜解决方案，让自动化测量更快、更高效，让探针更耐久！我们放弃了慢速又昂贵的扫描电子显微镜，转而采用高效、自动化且价格实惠的3D原子力显微镜，进一步降低线上工业制造的测量成本。现如今，制造商需要3D信息来表现沟槽轮廓和侧壁变形异特征，从而准确找到新设计中的缺陷。模块化原子力显微镜平台实现了快速的软硬件更换，使得升级更为划算，从而不断优化复杂并且苛刻的生产质量控制测量。此外，我们的原子力显微镜探针使用寿命延长至少2倍，进一步减少购置成本。传统的原子力显微镜采用轻敲式扫描，这让探针更易磨损，而我们的True Non-Contact™模式能够有效地保护探针，延长其使用寿命。
基本技术
200 mm电动XY平台 | 300 mm电动XY平台 | 电动Z平台 |
行程可达275mm x 200mm, 0.5 μm分辨率 | 行程可达400 mm x 300 mm， 0.5μm分辨率 小于1μm的重现性 | 27 mm Z行程距离 0.08μm 分辨率小于1μm |
Z扫描范围 | Z扫描噪音 | Z向探针噪音 |
15μm（大模式）分辨率 0.016nm 2μm （小模式）分辨率 0.002nm | 小于0.05nm | 0.02 nm |
200mm 系统 | 300mm 系统 | 设备需求环境 |
1500mm x980mm x 2050 mm 大约1020kg | 1840mm x 1170 mm x2050 mm 大约 2950 kg | 室温10 ℃~40 ℃ 操作18 ℃~24 ℃ 湿度 30%~60% |
主要功能
一种创新的3D测量方法
侧切和外伸轮廓；临界尺寸；侧壁粗糙度测量
工业界的噪音
静电消除系统确保稳定的扫描环境
自动测量控制，提高效率
应用
临界尺寸和侧壁测量
A、光刻胶致密线纹的横截面SEM图像;B、三维AFM图像;C、模板AFM轮廓线
