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NX-HDM NX-HDM 全自动缺陷检测原子力显微镜
- 型号
- NX-HDM
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上海纳腾仪器有限公司是一家专注于为微纳米科学领域提供综合性解决方案，为
全国各大高校、科研院所及企事业单位提供*的微纳米科学仪器。
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详细信息
对于工程师来说，识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程，Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别，通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率，越来越多的行业需要超平的介质和基板来满足不断缩小的设备需求，Park NX-HDM原子力显微镜系统具有业界0.5埃噪音，并将与其真正的非接触式模式相结合实现亚埃级表面粗糙度的测试。
基本技术参数
200 mm电动XY平台 | 电动Z平台 | 噪音 |
行程可达150mm x 150mm, 2 μm重现性 0.095nm分辨率 | 25 mm Z行程距离 0.1μm 分辨率 小于1μm 重现性 | 小于 0.5 μm/s |
尺寸&重量 | 控制箱 | 设备需求环境 |
880（w）x 880（d）x 880（h） 620kg | 600（w）x 900（d）x 1330（h） 170kg | 室温10 ℃~40 ℃ 操作18 ℃~24 ℃ 湿度 30%~60% |
主要功能
1) 快速自动缺陷检测功能
2) 亚埃级表面粗糙度的测量
3) 有最小的热漂移，自动分析测量的数据
4) 在线监测测试过程，
应用
自动检测缺陷
相关文献
Foucher; R Therese; Y. Lee; S.-I. Park; S-J. Proc. SPIE 8681,Metrology, Inspection, and Process Control for MicrolithographyXXVII, 868106 (April 18, 2013); doi:10.1117/12.2011463
