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UNECSｰPortable ulvac-kiko 高速光谱椭偏仪
- 型号
- UNECSｰPortable
- 参数
- 产地:国产
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设备
深圳九州工业品有限公司，坐落于深圳市，是一家工业品综合服务商。主要包括机电设备、电子产品、仪器仪表、工业器材的销售及其它国内贸易、经营进出口等业务。搭建工业品供应链，采用与 MRO分销商结盟的方式，把零散采购订单集中处理，流程简化，提供一站式供应服务。在美国、德国、日本、韩国、中国台湾建专业国际采购团队、技术顾问、销售团队为各种领域提供各类高品质的工业产品和优质的整合服务。通过与厂家建立快捷、有效的沟通，和众多国外生产厂家建立了长久合作伙伴关系。
详细信息
ulvac-kiko 高速光谱椭偏仪UNECSｰPortable
ulvac-kiko 高速光谱椭偏仪UNECSｰPortable
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-Portable，测量部的重量只有2.2kg重量轻且紧凑，是易于携带的便携式类型。
可用于真空设备现场验收试验，可以通过分离样品台直接放在样品上进行大尺寸样品的测量。
采用特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-Portable，测量部的重量只有2.2kg重量轻且紧凑，是易于携带的便携式类型。
可用于真空设备现场验收试验，可以通过分离样品台直接放在样品上进行大尺寸样品的测量。
特点
高速測定：
独的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。丰富的产品阵容：
产品阵容应用广泛，包括如独的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量
规格
| 波长范围 | 530 ～ 750nm、380 ～ 760nm（选择） | |
| 点径 | Φ1mm、Φ0.3mm（选择） | |
| 入射角度 | 70o固定 | |
| 膜厚再现性 | 1σ = 0.1ｎｍ | |
| 膜厚范围 | 1nm ～ 2μｍ | |
| 测量时间 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | |
| 平台 | 固定类型（Φ150mm以下、可拆卸） | |
| 控制PC | 笔记本类型（带操作/分析软件） | |
| 机器构成 | 测量本体（带固定台）、控制器BOX、光源单元 操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD） | |
