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VTS-350M/X ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪
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ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪VTS-350M/X
ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪VTS-350M/X
可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
使用三通阀,组件更少,维修更容易。
真空计等配件可以安装在同一个架台上。
空冷型,不需要冷却水。
带有轮子,易于移动。
配有调节器,可以确保安装的安全性。
型号 | VPC-053 |
极限压力 | 7.0×10-4Pa 1.5×10-4Pa(使用液氮时) |
主泵 | 油扩散泵(空冷) 50 L/sec |
辅助泵 | 油回转真空泵 20 L/min |
メイン阀门 | 25A蝶阀 |
辅助阀门 | 三通阀 |
吸气口 | VG-25 |
重量 | 20kg |
最大尺寸 (W×D×H) | 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |
可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
使用三通阀,组件更少,维修更容易。
真空计等配件可以安装在同一个架台上。
空冷型,不需要冷却水。
带有轮子,易于移动。
配有调节器,可以确保安装的安全性。
型号 | VPC-053 |
极限压力 | 7.0×10-4Pa 1.5×10-4Pa(使用液氮时) |
主泵 | 油扩散泵(空冷) 50 L/sec |
辅助泵 | 油回转真空泵 20 L/min |
メイン阀门 | 25A蝶阀 |
辅助阀门 | 三通阀 |
吸气口 | VG-25 |
重量 | 20kg |
最大尺寸 (W×D×H) | 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |