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材料物理&材料制备系列DH-500JJC型 多靶磁控溅射镀膜机
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武汉鑫卓雅科技发展有限公司是一家专业从事电子测试测量仪器及工具，大学物理、电工电子电气、机械工程、汽车电子技术教学科研实验室，大恒光学，电子产品快速成型一体化，通信工程与电子信息专业实验教学，物联网工程教学实训与科研，分布式能源系统工程集成及运行服务、系列新能源模拟试验平台开发实验室，轨道交通运营通信信号实验教学整体解决方案系统集成供应商；TI（DSP）、Xilinx（FPGA）联合实验室第三方。 公司位于湖北省武汉市的洪山区，是湖北有名的教育区，公司现有员工10位，所有员工的学历都是大学本科以上，其中硕士2名。员工都来自湖北有名的高校如武汉大学、华中科技大学、武汉理工大学等。公司具有较强的研发能力，可根据用户的要求设计及制造各种相关的仪器设备。公司还专门设立了自己的“售前、售中、售后”的服务团队。
详细信息
该镀膜机主要用于科研实验，可制备纳米级和微米级的单层及多层功能膜-各种硬质膜、光学膜、金属膜、铁磁薄膜、半导体膜、介质膜和氧化物薄膜等多种薄膜。
该镀膜机为前开门式设计，功能强、镀膜质量稳定、重复性好、操作简便。真空室材料均采用优良材质SUS304 不锈钢材料制造，工艺规范、精致，保证了材料的成膜纯度。
采用分子泵+直联机械泵机组，具有抽速快、无油、操作方便快捷、易于维护的特点。
◆ 镀膜方式：可实现多靶共溅模式；
◆ 磁控靶：圆柱/平面靶；
◆ 进气系统：三路质量流量计；
◆ 镀膜室体积：500mmX500mmX600mm；
◆ 极限真空度：5X10-5 Pa，恢复真空：从大气抽至6.7X10-4 Pa （40分钟）；
◆ 真空抽气系统：机械泵与分子泵组成；
◆ 真空测量系统：数显复合真空计；
◆ 工作电源：直流电源500W；射频电源500W（13.56MHz）；加热控温电源；
◆ 工件烘烤温度：室温～800℃可控可调(PID控温)；
◆ 选配件：石英晶振测厚仪、冷却水机组等；
◆ 供电电源：三相AC380V，50Hz。
◆特殊规格可定制。
