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材料物理&材料制备系列DH-900DZX 箱式多弧磁控镀膜机
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武汉鑫卓雅科技发展有限公司是一家专业从事电子测试测量仪器及工具，大学物理、电工电子电气、机械工程、汽车电子技术教学科研实验室，大恒光学，电子产品快速成型一体化，通信工程与电子信息专业实验教学，物联网工程教学实训与科研，分布式能源系统工程集成及运行服务、系列新能源模拟试验平台开发实验室，轨道交通运营通信信号实验教学整体解决方案系统集成供应商；TI（DSP）、Xilinx（FPGA）联合实验室第三方。 公司位于湖北省武汉市的洪山区，是湖北有名的教育区，公司现有员工10位，所有员工的学历都是大学本科以上，其中硕士2名。员工都来自湖北有名的高校如武汉大学、华中科技大学、武汉理工大学等。公司具有较强的研发能力，可根据用户的要求设计及制造各种相关的仪器设备。公司还专门设立了自己的“售前、售中、售后”的服务团队。
详细信息
该镀膜机可镀制不锈钢、铬、钛、钨等多种金属，也可镀制合金膜或化合物，也可在工件表面上镀制单层或多层介质膜或金属 ZrN、TiCN、TiAlN 等硬质或装饰涂层，具有镀膜速度快、膜层质量好的优点。
◆真空室：镀膜室尺寸900mm×900mm×1000mm；箱式、前开门结构；
◆抽气系统：机械泵：前级泵70L/S；维持泵：2X-8旋片泵；罗茨泵：ZJP-150；
扩散泵：KT-500 ；分子泵: FF250/1600（选配）；
◆极限真空：5×10-4Pa；恢复真空：5×10-3 Pa（小于20min）；
◆镀膜系统：平面磁控靶或圆柱磁控靶/直流功率源或中频功率源；小弧源/柱弧源；
◆ 辅助镀膜系统：脉冲偏压电源，条形离子源（选配）；
◆ 膜厚测量系统：石英晶体膜厚监控系统（选配）；
◆ 进气系统：自动压强控制+多路质量流量控制系统；
◆操作方式：手动按键式；控制系统配置：研华工控机，80G硬盘，512内存+日本三菱PLC；10英寸液晶显示触 摸屏界面；
◆ 旋转夹具：公转/自转夹具，速度从 0～15r/min 无级可调；
◆ 工件烘烤：室温～300℃；
◆ 供电电源: 三相380V，50Hz。
◆ 特殊规格可定制。
