等离子清洗机(GAS PLASMA DRY CLEANERS)型号:PDC200/210/510

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等离子清洗机(GAS PLASMA DRY CLEANERS)型号:PDC200/210/510

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详细信息

等离子清洗机(GAS PLASMA DRY CLEANERS)型号:PDC200/210/510

仪器简介:

研究开发用等离子清洗机

用途:

CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理

技术参数:

型号 PDC200 PDC210 PDC510
模式 RIE模式(DP选配) DP模式 DP/RIE切换方式
电极构造 平行平板电极(固定)
高频输出功率 MAX300W Max 500W
频率 13.56MHz
控制方式 自动联动,液晶触摸屏控制
反应室尺寸 400×250×150mm 500×300×200
电极尺寸 250×170mm 400×200mm
反应室材质 一次性一体成型铝腔(防腐蚀,可对应CF4
反应气体 2系统(Ar/O2
填充气体 N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制 流量计 聚合控制器
真空泵 另行选配 油回旋真空泵(排气量345L/min) 油回旋真空泵(排气量500L/min)
气体导入口 反应气体2套,填充气体1套
外型尺寸 540×600×600mm 540×600×600mm 700×700×700mm
电源 单相AC100V 15A 50/60Hz 三相AC100V 15A 50/60Hz
主要特点:
RIE模式标配(DP切换为选购)
等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面
典型用户

采购单位名称 采购时间 采购台数 备注
瑞声声学科技控股有限公司 2006-7-1 1
东芝大连有限公司 2008-7-9 1
东莞石龙京瓷光学有限公司 2007-9-10 1

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