等离子清洗机(GAS PLASMA DRY CLEANERS) 型号:PDC200/210/510

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等离子清洗机(GAS PLASMA DRY CLEANERS) 型号:PDC200/210/510

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西安凯跃电子成立於2003年,是一家分析、检测、监测仪器生产和销售的专业化公司,位于历史文化名城古都西安;主要从事设备检测、环境监测仪器仪表的生产和*进口仪器仪表的代理销售工作。用户涉及石油、化工、冶金、锅炉、空调系统、煤矿、食品、环保等行业。在国内建立了庞大的销售、服务网络;我们在“诚信、服务、开拓、发展”的企业精神的引导下,从而铸就了一支团结、优秀、强硬的专业队伍。  我公司专业从事辐射监测,大气监测,空气净化(METONE空气颗粒计数器),水质检测、安全测量分析噪声监测。拥有环境监测分析仪器行业的专业服务人员,可满足各种分析仪器的安装调试维修工作。我们真诚希望通过宣传国内的优质仪器和引进国外的*测量检测仪器给国内所需的行业部门,从而进一步提高并完善国内的专业水准。 公司自成立以来一直秉承 “诚实守信,精益求精、、客户至上”的理念,以“人才、品质、创新”三方面的优势为基础,以销售为中心,以技术为先导,以服务为后盾,超前创新,铸就公司品牌。我们今天所取得的成绩,取决于自身过硬的产品质量、新老客户的大力支持及全体员工的共同努力。  为此,我们将一如既往的给您提供质的服务。 我们将“客户+企业+员工=共赢”作为企业发展的基础,力争成为具影响力的原装现货供应商,希望永远与您携手共进、共同成长,为行业的繁荣和国家的和谐发展作出应有的贡献!

详细信息

等离子清洗机(GAS PLASMA DRY CLEANERS) 型号:PDC200/210/510

仪器简介:

研究开发用等离子清洗机

用途:

CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理



技术参数:
型号 PDC200 PDC210 PDC510
模式 RIE模式(DP选配) DP模式 DP/RIE切换方式
电极构造 平行平板电极(固定)
高频输出功率 MAX300W Max 500W
频率 13.56MHz
控制方式 自动联动,液晶触摸屏控制
反应室尺寸 400×250×150mm 500×300×200
电极尺寸 250×170mm 400×200mm
反应室材质 一次性一体成型铝腔(防腐蚀,可对应CF4
反应气体 2系统(Ar/O2
填充气体 N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制 流量计 聚合控制器
真空泵 另行选配 油回旋真空泵(排气量345L/min) 油回旋真空泵(排气量500L/min)
气体导入口 反应气体2套,填充气体1套
外型尺寸 540×600×600mm 540×600×600mm 700×700×700mm
电源 单相AC100V 15A 50/60Hz 三相AC100V 15A 50/60Hz


主要特点:

RIE模式标配(DP切换为选购)
等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面

典型用户

采购单位名称 采购时间 采购台数 备注
瑞声声学科技控股有限公司 2006-7-1 1
东芝大连有限公司 2008-7-9 1
东莞石龙京瓷光学有限公司 2007-9-10

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