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双腔室四靶磁控溅射镀膜机
电阻式热蒸发镀膜机
热蒸发、磁控溅射镀膜机
主营产品公司介绍
一、应用领域:
该设备可沉积金属、合金、及多种介质膜,可进行反应溅射;用于硬质膜,装饰膜及其它功能膜的研究开发。
二、性能参数:
1. Φ500x500立式水冷腔体,
2. 配DN100多弧靶3只,4″平面圆靶1只;
3. 平面靶配1000w射频电源;系统可加偏压,偏压电源为脉冲直流,功率2000W;
4. 工艺加热温度500℃,
5. 样品架公自转,公转转速0-50rpm可调;
6. 系统配4路MFC工艺气体。
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