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| 电子级25t/h高纯水设备介绍 | |
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| 系统处理工艺流程图 | |
| 原水→原水箱→增压泵→全自动盘式过滤器→保安过滤器→超滤系统→超滤水箱→增压泵→阻垢剂加药系统/还原剂加药系统→保安过滤器→高压泵1→反渗透装置1→中间水箱→PH调节装置→高压泵2→反渗透装置2→纯水箱→输送泵→过滤器→EDI电除盐系统→EDI高纯水箱→输送泵→抛光混床→TOC去除器→过滤器→用水点 | |
| 注：本系统采用反渗透膜处理工艺，主要有四个部分组成，预处理系统、二级反渗透主机系统、EDI电除盐系统、抛光混床系统； | |
| 原水采用自来水通过增压泵增压进入石英砂过滤器、活性炭过滤器和软化器过滤，去除水中的悬浮物、胶体、有机物及余氯，配套有絮凝剂加药系统和阻垢剂加药系统，可有效降低水中浑浊度，防止反渗透膜的结垢，提高反渗透膜的使用寿命； | |
| 二级反渗透系统采用美国陶氏反渗透膜技术，自动制膜技术有效保证每支膜的水处理性能。I级反渗透采用BW30-400型号的反渗透膜，该膜具有脱盐率较高、操作压力较小，抗污染性能，膜的脱盐率可以达到99.7百分之；二级反渗透膜采用BW30-365系列膜，该膜广泛使用二级反渗透系统中。二级反渗透出水水质电导率可以达到4微西门子以下； | |
| EDI电除盐系统采用西门子模块，EDI作为绿色脱盐模式，具有以下优点：占地面积省、运行成本低、系统设计简单、水质稳定、安装维修简便、绿色环保，不需要酸碱再生、可实现连续生产。EDI出水电阻率可以达到15~17兆欧； | |
| 抛光混床系统采用上海树脂厂和罗门哈斯合资品牌抛光核级树脂，抛光混床作为制取超纯水的核心部件，经处理后出水可以达到18兆欧以上，满足微电子行业用水要求； | |
| 系统中电气控制情况 | |
| 本设备采用触摸屏PLC控制，系统中各工艺点的运行情况，在触摸屏中都有所设计，系统故障有报警及指示功能，可以通过触摸屏直观的了解设备运行情况、故障分析； 该设备中的水箱和水泵均设计有液位连动控制，可以实现系统无人值守； 高压泵均设计有压力保护装置； 系统中的电导率仪和电阻率仪均有报警和信号输出功能； | |
| 技术参数总表 | |
| 项目 | CL-25T/H型高纯水设备 |
| 应用行业 | 微电子冲洗用水 |
| 设备控制方式 | 触摸屏PLC控制，各液位、压力连锁控制，实现无人值守 |
| 产水量 | 25T/H |
| 进水水质指标 | 市政自来水，电导率≤1000μS/cm |
| 产水水质 | 电导率≤0.055μS/cm（电阻率≥18MΩ.CM） |
| 反渗透设备系统脱盐率 | 99.7百分之 |
| 自来水损耗 | 33t/h |
| 进水温度 | 2~35℃ |
| 工作方式 | 可24小时运行 |
| 设备运行质量 | 预处理部分约30吨 二级反渗透主机系统约5吨 EDI电除盐和抛光混床：约4吨 |
| 设备额定功率 | 约85KW |
| 电源 | 380V AC 50HZ 三相五线 |
| 反渗透系统回收率 | 50~75百分之 |
| 主机设备规格尺寸 | 长6000*宽2500*高2000 |
| 厂房建议尺寸（含操作维护空间） | 长19000*宽8000*高7000 |
| 进水口径 | DN100 PN1.0法兰接口 |
| 出水口径 | DN65 PN1.0法兰接口 |
| 排污口径 | DN125PN1.0法兰接口 |
