Themis S S/TEM 用于半导体的优势包括：

• 高分辨率和高通量分析的较佳组合。透镜配置使其仅在 Themis 上可用。它可提供较佳的图像分辨率和较高的能谱效率。
• 极值得信赖的测量精确度。由于存在 ≤2% 的测量不确定性，在关键尺寸测量应用中可提供可信任、可重复性和一致性。
• 较强的多功能性。光学器件、化学检测、宽间隙极靴和应用软件的结合可确保平台覆盖能够涵盖广泛的应用。

较快获得结果

Themis S S/TEM 将压电工作台和漂移校正帧 (DCFI) 结合使用以补偿可能的样品漂移，从而能够较快获取数据。如此，仅在上样后数分钟内即可在 TEM 和 STEM 模式中采集高质量、高分辨率图像。

提高生产率

为了优化生产率，Themis S S/TEM 使用双线圈恒定功率透镜来尽量减少热漂移并尽量提高系统通量。这种设计可以消除在不同模式之间切换时的镜头热变化，例如从低倍镜模式切换进行特征搜索，以及从高倍镜模式切换进行成像。