PVA-TePla 射频等离子体清洗机（*）

型号：IoN 40 (M4L 升级版)， IoN 100, IoN 100WB, IoN 300

典型应用：

表面精密清洁 Surface Precision Cleaning

表面活化  Surface Modification

提高表面粘合性 Bond Strength Enhancements

改变表面亲水性/疏水性  Hydrophilic/Hydrophobic

分子接枝   Molecular Grafting

涂层  Plasma Deposited Coatings

去除光刻胶 Photo-resist Stripping

规格参数：

13.56MHz风冷射频电源（0～600w可调，可选0～300W，0-1000W），

高灵敏快速自动匹配功能

阳极表面处理铝制腔体，

水平抽卸极板/垂直极板/侧壁极板/水冷极板，

不锈钢防腐蚀MFC，

多至6路气体，

分级密码权限管理，

PC工控机控制，运行数据自动存储，

局域网数据库自动导入，

系统自动升级、更新，

触控屏图形化界面

外形尺寸：775×723×781 mm

可选配法拉第桶

可选配压力控制系统

可选汽相MFC

可选高精度真空规，

可选液态单体操作装置

认证：

CE 认证

EN 61010

EN 61326

Semi E95

USP Class VI

FDA CFR Title 21 Part 11

CISPR 55011

ISO 9001

NFPA79

NFPA70