电解抛光原理

电解抛光（Electro-polishing，简称EP）的原理是将工件接于阳极并置于电解液中通直流电，利用电解作用将工件最表层之金属及杂质溶解移除，使工件表面平坦滑顺、洁净无瑕、光泽明亮，更可提升表面的抗腐蚀性，可说是的表面亮化方法。

半导体制程中，气体供应之零组件相当要求洁净性、表面平滑性及抗腐蚀性等，目前适用于半导体组件的表面处理方法有数种，其中电解抛光法因具有以下特性，已成为半导体制程中重要的阀件、管件及其零组件等流路内部之表面处理的主要方法。

电解抛光法之特性：

(1)　钝化层

不锈钢材料在进行电解抛光处理时，藉由电化学的原理，适当地调整电压、电流、酸液成分、温度及抛光时间，便可控制加工表面的氧化铬薄膜厚度，使不锈钢管达到的抗蚀性。

(2)　高洁净度

电解抛光之制程系将工件最表层移去，因此表面之杂质层、氧化层、残留应力层等，皆会被移除，加工完成后可获得非常平坦的表面，没有可以藏污纳垢的凹陷，因此可使工件在使用时，表面达到高洁净度。

(3)　适合薄型工件及特殊形状加工

电解抛光加工过程中，工件是泡在电解液中，所以不受任何应力，不会有表面加工变质层及造成表面残留应力，但可溶解除去前制程中，零件表面因机械加工而产生的应力层。因此，电解抛光非常适合处理薄型工件及特殊形状工件，且对于小型工件，可大量一次进行而减少加工时间。

1、技术含量高:

    核心部件采用国际技术产品,控制电路采用专有技术,稳压性能强,提高了工作效率。

2、可靠性强:

    保证设备安全运行,减少故障发生,保护齐全,隔离及防腐措施合理

3、控制精度高:

    由于系统反应速度快（微秒级），对于网电及负载变化具有的适应性，输出精度可优于1%。开关电源的工作效率高、所以控制精度高，有利于提高产品质量。

4、节电效果好:

    较可控硅整流器可节电10%-30%,对企业降低成本定会发挥重要作用。

5、灵活性强：

    输出电压、电流可调，限压、限流可调，大大提高客户使用灵活性。

6、保护功能齐全：

    软启动保护，输入交流欠压、过压保护，输出过流、过热保护功能。

7、输出波形易于调制：

    由于工作频率高，其输出波形调整相对处理成本较低，可以较方便的按照用户工艺要求改变输出波形。这样对于工作现场提高工效，改善加工产品质量有较强作用。

8、寿命长：

    水冷系列采用密封及水冷结构，功率部件通过水冷却，延长了其使用寿命，可使用自然水或洁净自然水冷却；风冷系列采用独立隔离风道从而确保其具有较高的防腐等级。

二、结构及工艺特点

1、完善的风道隔离技术

    在污染情况严重的运行环境下，将电源的散热部分与功率及控制部分实行风道隔离是保证电源长期可靠运行的必要手段。我公司产品实行了的风道隔离技术。其实，这一技术的关键是，在实行风道隔离的前提下，为电源系统提供良好的散热环境，这就需要选用合适的风机、合适的散热器、布置合理的风道。我公司选用国产优质250风机，定制符合风道设计的散热器，散热系统高效可靠。

2、的主功率器件水冷却技术

    金属材料内置水道技术于2005年在我公司使用。该技术解决了IGBT等功率器件的水冷方式散热难题。2006年，我公司又推出了水冷式变压器。这两项技术解决了全水冷开关电源的主要技术障碍。由于其结构简单，重量轻，便于维修维护，一经进入市场，就受到用户的欢迎，导致油浸水冷式开关电源基本退出市场。

3、高可靠性水道处理技术

    水冷电源在主要技术问题解决后，水道的外部连接也是一个需要解决的重要技术问题。其基本要求是连接通道耐压耐温能力强，弯曲易于实现且不能变形，抗老化能力强，连接可靠不漏水，绝缘能力强。我公司采用铝塑管，很好的实现了这个目的。

4、的高频噪声处理电路

由于开关电源采用了高速的大功率开关器件，在这些开关器件开通和关断的瞬间（5微秒以内），其输出波形存在尖锐而短暂的高频噪声（2微秒以内）。这种高频噪声对接用设备的使用效果有的情况下会产生不利作用。消除高频噪声也是开关电源性能好坏的一个重要指标。

5、合理的多水道冷却技术

    在水道设计方面，不但要考虑到总体的水量大小，还要考虑到水流运动过程中水温变化对局部冷却器件的冷却效果的影响，这样就需要考虑用多水道方案解决冷却效果不一致的问题。随之而来的是不同通道水阻不通带来的水流不均衡问题。我公司产品充分考虑到了水冷却技术本身的各种具体问题，实行了科学合理的多通道水冷却系统。

三、设计特点

1、器件及材料选用科学合理

    主要器件如前所述，其他器件及材料选用我公司也执行了一律选用国内国际优秀品牌的原则。小到操作开关器件，大到IGBT，我公司这些年都在国内外进行了长期筛选，优选出了与我公司建立长期供求关系的优质供应商。

2、按不同需求选用合适的拓扑电路形式

    电源功能实现的基础是选用合适的拓扑电路形式。许多电源制造企业对这一点注意不够，因而生产的开关电源从基础上就存在缺欠，导致其所生产的开关电源难以长期稳定运行，更谈不到满足用户的工艺要求。

3、安全余量有保证

七、我公司电源产品的特点：

    我公司开关电源长期坚持留有足够设计余量，以保证电源在合理使用条件下，能够始终在合理的工况状态下运行。根据不同情况，我公司电源主功率系统一般按110%到130%余量进行设计。

   由于我公司电源具备以上特点，加之我公司基本实现了规范化、模块化的管理体系，从而形成了我公司开关电源的优势：

1、控制有效，高度一致，适应性好。

2、装配规范，结构紧凑，可靠性高。

3、跟随迅速，波形稳定，使用效果佳。

4、器件优良，余量合理，使用寿命长。

5、技术，稳定高效，节能效果好。

※可根据客户要求定制※欢迎!

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