*视窗为双层设计，操作安全                                   
*设备占地面积小
*喷淋装置喷淋均匀无死角                                      
*加热材料高纯无污染，in-line加热
*有限控制金属、材料及微粒子的交叉                           
*温度自动校准
*软硬件互锁装置保证操作人员人身安全                          
*支持SMIF自动传输
*实时记录生产数据，多种数据分析功能                          
*软件支持GEM/SECS接口，提供PAP MES等功能
*工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速                           
*优化配管设置，节约DIW消耗量
*药液浓度实时监控系统                                        
*多工艺数据库，可供用户适用和储存
*槽体流场控制技术                                           
*高效药液回收系统
*Maragoni Dryer 低破片率，高洁净度                         
*较洁净药液回收利用，节约药液使用
*易燃化学品安全稳定加热系统                                 
*易燃化学品搭载消防系统及切断排风系统，符合消防安全
*自主知识产权的软件系统                                      
*系统自动排程，多工位并发处理，高效率运行
*拥有多项软件著作权                                         
*工艺预置，过程数据记录和生产管理
*PC上位机和PLC触摸屏的控制和人机交互界面