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产品详情：
项目 | 说明 | |
机台型号 | CGB-SSC-XX； | |
机台重量 | XX | |
清洗能力（采购方提供cassette样品） | 8 inch wafer； | |
处理方式 | 单片处理 人工手动取放片，干进干出； | |
产能要求 | 湿法制程清洗工艺XXXX Pcs /月（按照＜30min/run，50PCS/Run，22小时/天，26天/月计算，预估值）； | |
设备形式（洁净度：千级洁净室） | 室内放置型； | |
机台封面、主要结构材质 | 聚丙烯磁白PP 10T（）； | |
SUS304单镜面板材1.5T（√）； | ||
机台视窗 | 材质 | 透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC 5T （）； |
SUS304单镜面板材及钢化玻璃 5T（√）； | ||
模式 | 上下举升式（）； | |
左右推拉式（√）； | ||
机台主机强度结构 | 整体SUS304不锈钢结构骨架； | |
防漏盘 | 材质 | 聚丙烯磁白PP板材； |
模式 | 分体式 每侧尺寸比设备本体长50mm； | |
漏液检测装置 | 材质 | 防腐材质； |
点式 | 单点式； | |
其它 | 水平调整 | 通过地脚调整设备水平； |
设备移动 | 设备装有树脂脚轮以备设备移动之用； | |
台面板 | 材质 | ￠12mm左右洞洞结构 聚丙烯磁白PP板材（√）； |
￠12mm左右洞洞结构 SUS304单镜面板材（）； | ||
模式 | 可拆式（√）； | |
一体式（）； | ||
排风系统 | 排风口位置 | 设备后顶部（√）； |
设备后部（）； | ||
排风通道结构 | 1） 排风强劲合理设计，为了排风效果达到，排风通道内设有风量导流板； 2） 为了方便操作人员根据情况及时调节排风量，操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气模块使用达到使用效果； 3） 设备排风通道的底部带排液管，冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内与QDR排出的废水混合稀释并排放至机台后方厂务废水专用管道内； | |
机台的电控系统 | 安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。各槽体的工艺过程均由PLC、触摸屏、温控器、传感器等组成。设备具有上电手动操作复位功能。每个机台可存储X套工艺配方，操作者可通过触摸屏调用预先编制好的工艺配方。软件系统具有工艺配方参数设定、手动维护、自动运行、状态监控等画面。软件具有报警信息、历史记录、维护信息等系统记录。软件系统具有3级加密进入权限设置：分别为设备作业员、设备工程师、工艺工程师，不可混用权限； | |
规格特点：
01）工艺说明: 人工传动，手动方式实现传送工件；
02）全程自动化控制，工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性；
03）旋转主轴及扫描清洗臂旋转辅轴移动提升均采用日本伺服马达，闭环控制，定位精度≤1mm，可靠性高；
04）具有系统急停开关和旋转主轴马达电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全；
05）旋转主轴及扫描清洗臂旋转辅轴运行平稳，带有过载和过流保护；
06）优化配管设置，节约药液消耗量；
07）工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速；
08）多工艺数据库，可供用户使用和存储；
09）整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等，需润滑的零件必须密封处理，定期更换润滑油；
10）整机采用全封闭设计。设备运行且操作、维护和维修方便；
11）整机耐腐蚀溶液及挥发气体的腐蚀，电器元件正常安全使用；
12）机台设有紧急停止回路（EMO急停按钮），并按照标准设置接地保护断路器；
13）整机前后区隔离，底板倾斜设计，便于排液，处设有漏液报警，区域均设水枪，确保漏液及时冲洗；
14）清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计，防止溶剂混用；
15）设计合理化的排风管路，使腐蚀液挥发气体的污染最小化；
16）各种工艺参数超限、非正常加工处理条件、非正常操作、缺液、满液等异常检测告警系统和安全保护装置；
17）生产日志、故障日志等记录可定制保存时间，长期保持备查；操作简单友好；工艺参数数显检测、报警控制分等级、严重紧急情况、超限等；故障提示导寻，故障原因明显易查；
18）软件系统采用多层级、多进程、单元模块化设计，单一单元模块故障不影响其他单元模块工艺加工；
19）DIW枪及N2枪各1套；
20）机台总进水口处安装水阻计监测装置（带信号报警装置），并加装0.2us过滤器；
21）机台总进口处（N2或CDA）安装有压力监测装置（带信号报警装置）；
22）机台顶部配有10级FFU；
23）机台顶部配有静电消除装置；
