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外延钟罩清洗机
机台用途: 机台用来完成对外延石英钟罩的清洗;工件进行内部腐蚀清洗并干燥，外部进行水洗。适用钟罩型号：3061；630/680 参考价面议 -
单片去胶清洗机
特点：生产主线为：该设备主要由湿法清洗工艺模块+主轴旋转系统模块、清洗臂扫描旋转系统模块、N2吹干系统模块、液体供应系统模块、空气净化（配带离子风机）及静电去除系统模块、安全消防系统模块、电气控制系统模块等组成。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；顶部及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面（触摸屏）加PLC控制的半自动控制系统，操作者...... 参考价面议 -
全自动超薄片清洗机
生产主线为：腐蚀槽1、冲水槽2、轻刻槽3、冲水槽4、上下料台，共4个清洗工位。右进右出设备。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面（触摸屏）加PLC控制的全自动控制系统，操作者只须将清洗花篮放置于上下料工位上，再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位，按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。清洗能力...... 参考价面议 -
12吋全自动返工片清洗机
生产主线为：石英加热槽1、QDR槽2、PVDF槽3、QDR槽4、NPP槽5、NPP槽6，QDR槽7,IPA干燥槽8，共8个制程工位。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面（触摸屏）加PLC控制的自动控制系统，操作者只须将清洗花篮放置于上料工位上，再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位，按照事先输入...... 参考价面议 -
全自动Slug腐蚀机
生产主线为：上料台、MAE酸槽1、QDR槽2、MAE酸槽3、QDR槽4、C5酸槽5、QDR槽6、下料台，共6个制程工位。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面（触摸屏）加PLC控制的全自动控制系统，操作者只须将清洗花篮放置于上料工位上，再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位，按照事先输入的程序对晶...... 参考价面议 -
全自动有机清洗机
有机清洗机生产主线为：上料台、ACE1槽1、ACE2槽2、METH槽3、QDR槽4、QDR槽5、IPA槽6、HOT N2槽7、下料台，共6个制程工位。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；顶部及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面（PC）加PLC控制的自动控制系统，操作者只须将花篮放置于工装上，再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位，...... 参考价面议 -
全自动GaN去光阻清洗机
生产主线为：上料台、超声循环溢流槽1、循环溢流槽2、循环溢流槽3、QDR槽4、QDR槽5、下料台，共5个制程工位。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面（触摸屏）加PLC控制的自动控制系统，操作者只须将清洗花篮放置于上料工位上，再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位，按照事先输入的程序对晶片进行各...... 参考价面议 -
12吋全自动磨片清洗机
生产主线为：H2O超声槽1、界面活化剂槽2、H2O超声槽3、界面活化剂槽4、H2O超声槽5、HCL槽6、H2O超声槽7，共7个制程工位。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面（触摸屏）加PLC控制的全自动控制系统，操作者只须将清洗花篮放置于上料工位上，再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位，按照事...... 参考价面议 -
全自动碳化硅外延最终清洗机
生产主线为： Load，药液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload，共X个制程工位, 设置为6” *1 cassette晶舟上货，将晶舟置于Robot上货区位置，按下『启动键』，Robot将自动以夹持方式移至制程槽进行预设之制程，完成设备本身设定之流程，达成一贯性自动控制的功能。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽...... 参考价面议 -
槽式全自动清洗机
生产主线为：设置为自动晶舟上货，将晶舟置于Robot上货区位置，按下【启动键】，Robot将自动以夹持方式移至制程槽进行预设之制程，完成设备本身设定之流程，达成一贯性自动控制的功能。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是IPC工业电脑加PLC控制的全自动控制系统。 参考价面议