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Genesis-II型(510)是驰奔仪器第二代钨丝枪扫描电镜之中型分析扫描电镜(驰奔仪器)
Genesis-II型扫描电镜是全数字化控制,专业级电子显微成像分析仪器。
中型分析扫描电镜(驰奔仪器)采用立方结构样品室,拓展为中型样品仓,具有更大有效分析空间,全内置五轴优中心自动样品台,具有更大的自由行程,灵活优化电子显微成像及分析信号几何效率,获得更*成像分析效果。
硬件特征:
全数字控制,专业级电子光学系统;
主机电器一体化,结构紧凑,占地小 ;
中型样品仓,接配专业EDS、WDS、EBSD、CL等,分析附件探测器更协调工作 ;
优中心样品,五轴马达驱动,计算机导航 ;
高真空成像模式 。
五轴优中心样品台
马达驱动,计算机导航控制
全内置设计,样品台操作无真空贯穿件活动部件,高可靠
性能指标
型号 | Genesis-510 全自动扫描电镜 |
样品台 | 五轴优中心,全自动 X:90mm | Y: 60mm | Z: 5-60mm | R:360°无限 | T:-20°~90° |
电子枪 | 预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
加速电压 | 200V-30KV (大发射电流190μA @ 30KV/大电子枪功率:5.7W) |
探测器 | ET-SED |
物镜光阑 | 20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑 |
分辨率 | 4nm @30KV ( SEI) |
放大倍数 | 10-300,000 X |
样品室 | Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口 |
大样品尺寸 | Φ150mm X 60mm |
工作距离 | 0-60mm |
扫描光栅运动 | 电位移 ±50μm, 电旋转 0-360° |
扫描模式 | 聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变 TV模式:800x 600像素 慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。 照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、大3200x2400像素 |
图像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空模式 | 高真空优于9x10-3Pa |
真空系统 | 全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间小于3分钟) -涡轮分子泵 |
自动功能 | 亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中 |
软件系统 | 基于Win8,Virtuoso1.1控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。*鼠标键盘操作。 |
主机尺寸/重量 | 600(W)x623(D)x 1350(H)mm /130kg |
电源 | 单相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,工具 |
可选配置 | 四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置 |