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Cube-200X是驰奔仪器第二代钨灯丝扫描电镜系列 之台式电镜能谱一体机(驰奔仪器)
Cube-200x台式电镜能谱一体机(驰奔仪器),是全数字化控制,专业电子显微成像分析仪器,配置有三级电磁透镜,大变焦范围,长工作距离,多孔径光阑,轻松获得材料表面高分辨、大景深、高质量的微观形貌导航图,拓展简易EDS,能够对微米亚微米范围化学元素组成进行快速鉴定,即使未经专业培训,也能够得心应手。在工作条件固定模式下,Cube-X也是一款高效率的成像检测设备。
硬件特征:
全数字控制,专业级电子显微成像仪器;
标配SE探测器,选配BSE探测器 ;
可选样品仓低真空环境功能,直接测试非导电样品;
可选内置一体化简单易用EDS;
XYZ三轴大行程自动样品台,可选RT轴自动控制(降低Z轴行程);
多重弹簧橡胶隔振减振系统;
主机设计紧凑,系统高度集成,良好散热及电磁兼容性能;
轻质合金外壳,数字加工成型,具有良好电磁屏蔽功能。
多工位马达驱动样品台 X Y Z行程:45/45/50mm 手动倾斜旋转样品
高档轻质合金外壳,数字加工成型,具有良好电磁屏蔽功能。
拓展:简单易用X-ray能谱(EDS)
能够快速获得微米亚微米范围感兴趣区化学元素成分信息,用户无需了解高级能谱技术知识,按照厂商预设程序,简单培训即可工作,配置尽可能简单快速。
特点:
自动定性定量; 自动谱峰能量校准;
自动选择通道宽度及时间常数; 采集电镜图像,可同时采集谱图像,可叠加元素伪彩;
元素面分布和线扫描,多基于谱图像的分析提取;
探测晶体面积10~30mm²,但大输出10万Cps左右;
无需液氮制冷
软件特征:
用户友好:包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制;
特殊样品:动态聚焦(DF)、倾斜补偿;
高效拍照:自动照相(Auto Imaging); 大图拼接:连续视野照片缝合;
信号探测:支持SE、BSE、STEM同时;
鼠标键盘操作,简易快捷。
安装尺寸图:
性能指标:
型号 | Cube-X 台式电镜能谱一体机 | |
样品台 | XYZ三轴自动,RT手动 -Y: 45mm (自动) | |
电子枪 | 预对中钨灯丝,三极自动偏压,偏压与加速电压关联 | |
加速电压 | 200V-30KV ,数字化高压电源,连续可调 | |
探测器 | E-T型 SE detector, 四分割半导体固体BSE detector(选购) | |
物镜光阑 | 四孔位可变光阑,20~100μm | |
分辨率 | 5nm @30KV SE Image 8nm@30KV BSE Image | |
放大倍数 | 20x-300,000 x | |
样品室 | Se、Bse、EDS探测器接口, 4个其他接口 | |
大样品尺寸 | Φ90mm x 45mm(H) | |
工作距离 | 0-48mm | |
扫描光栅运动 | 电位移 ±50μm, 电旋转 0-360° | |
视频显示模式 | 聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变 TV模式:800x 600像素 慢扫描模式:用于TV及聚焦模式。 照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、大3200x2400像素 | |
高级扫描 | 动态聚焦,倾斜补偿 | |
图像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG | |
真空系统 | 全自动真空系统,真空高压连锁安全保护 -涡轮分子泵 -旋片式机械真空泵 -电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等 -高真空优于7.5x10-3Pa (从大气到达高真空小于3分钟) -低真空模式 10-230Pa (选配) | |
自动功能 | 亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中,自动照相存储 | |
软件系统 | 基于Win10,Virtuoso控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。*鼠标键盘操作。 | |
主机尺寸/重量 | 410(W)x440(D)x 520(H)mm /65kg | |
电源 | 单相交流 220V 、50Hz、1KW | |
耗材附件 | 预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,工具 |
EDS能谱仪 All-in-one mode OXFORD/BRUKER/EDAX
拓展:简易X-ray能谱(EDS)
主要针对感兴趣区进行元素定性和半定量,能够快速获得结果,能够较为快速的进行元素面分布采集。
用户无需了解高级能谱技术知识,按照厂商预设程序,简单培训即可工作,配置尽可能简单快速。
特点: 自动定性定量; 自动谱峰能量校准;
自动选择通道宽度及时间常数; 采集电镜图像,可同时采集谱图像,可叠加元素伪彩;
元素面分布和线扫描,多基于谱图像的分析提取;
探测晶体面积10~30mm²,但大输出10万Cps左右;
无需液氮制冷