洁净厂房验收检测

洁净厂房验收检测

1、风速

　　a)在主过滤器或扩散板下游10cm处的平面的面积分成不得少于十二等分的面积，各面积中心点即为风速测点。但各测点间距不应大于25cm；

　　b)将各测点风速值计算出截面风速算术平均值及风速均匀率。

　　2、悬浮粒子数

　　a)吸风处的浓度（对于≥0.5um的粒子）不得小于35000粒/L；不能满足宜在吸风处发多分散气溶胶；

　　b)在距主过滤器或整流格栅出口250mm的平行断面的中心处连续测试5次，求其平均值，采样量不得小于1L。

　　3、沉降菌

　　将装有营养琼脂的j90mm培养皿置于工作台操作界面上，测量点按悬浮粒子布置，暴露0.5h后，盖上皿盖，取出培养皿在30℃～35℃的环境中培养48h。用肉眼计数可见的细菌集落，取其算术平均数。

　　4、照度

　　测点布置在洁净工作台横向的中心线上，均匀布置三点，取算术平均数作为洁净工作台的照度。

　　5、高效过滤器（PAO）检漏

　　向高效过滤器上游侧发气溶胶，同时用气溶胶发生器在下游侧距高效过滤器出口约2.5cm处进行扫描巡检。扫描速度≤5cm/s。当下游侧浓度与上游侧浓度的比大于0.01％时，则认为有明显泄露。