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等离子水洗Local Scrubber设备，用于去除半导体Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆工艺制程中使用或产生的PFC温室气体和有毒有害气体，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

LOCAL SCRUBBER工作原理

通过直流电源，使工作气体（氮气）进入等离子体反应器，在正负极qiang电流的作用下，被电离成等离子体，瞬间产生巨大的火焰，产生的高温火焰将废气分解。

LOCAL SCRUBBER设备优势

1、去除效率高，不需要燃料和热源，耗能低；

2、处理高沸点废气，应用范围广；

3、高温、反应速度快；

4、设备占地面积小、便于安装。

本装置的直流电弧等离子体为非转移型，两电极区域不参与反应，只产生等离子体，产生的火焰温度可达3000度以上。

等离子反应器的MTBF大于1年，反应室内腔的材质耐热和耐腐，具有四个进气口，装置具备冷却区、喷淋区及两级填料除雾区，对PFC温室气体的去除效率>90%。

LOCAL SCRUBBER性能参数

除效率 CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm MTBF >6months; MTTR<1.5hr cpvc="">1year 尺寸（mm） 800*800*1850 进气口 NW50*4 耗能 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95% 水量<4slm

LOCAL SCRUBBER生产厂家

格林斯达环保集团，工艺废气治理系统解决方案提供商，提供废气治理一站式服务（方案规划设计、设备生产及安装、系统运行调试、智慧运维）。如您有Local Scrubber采购需求，即刻联系我们吧！