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一、任氏巨源微波化学气相沉积炉特点：
1. 高温微波化学气相沉积炉，采用纯微波加热、~传统电加热或混合加热方式，可加热包括金属在内的非易燃易爆材料，
2. 升温速率快，智能控温，可分段设置，控温稳定度好，热惯性小。同时加热多个温区，且加热区长度可调。
3. 可通各种气氛，抽真空有机械泵、扩散泵和分子泵，可达10-3Pa真空状态。
4、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构），耐高温、耐腐蚀；
5、保护管采用耐高温合金管 ，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；
6、炉体配有自动冷却风扇，降低温度；
7、真空系统：机械泵 扩散泵和分子泵，真空密度计
8、可通过电脑全程监控和调试；
二、任氏巨源微波化学气相沉积炉产品参数：
型号/model | WBMW-QXCJ4 | ||
可加热材料 | 非易燃易爆的任何材料 | ||
微波频率 | 2.45GHZ±50MHz | ||
加热方式 | 纯微波加热、~传统电加热、混合加热 | ||
微波功率/KW | 4 (功率可调) | ||
温度测试元件 | 微波场传感器 | ||
控温精度/℃ | ±2（微波场传感器） | ||
加热管材质 | 石英管 | 高温合金管 | 刚玉管 |
加热温度/℃ | 1200 | 1200 | 1600 |
管径(外径/内经X长度)/mm | ∅45/∅35×1200，可选配，外径∅60 | ||
加热速度 | ≦200 | 升温速率不限 | ≦50 |
恒温区长度 | 标配恒温区长度100mm，恒温去长度100mm以上可定制 | ||
温区 | 可多温区同时加热 | ||
气路法兰 | 304不锈钢法兰 | ||
质量流量控制 | 美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器 气柜、气路及各类阀门，可配套计算机自动控制系统及软件 | ||
气路数量 | 2路或3路 | ||
流量范围 | 0-1SLM(标准升/分，可选配）氮气标定 | ||
精度 | ±0.2%F.S | ||
响应时间 | ≤1sec | ||
工作压力 | 进气压力0.05-0.35Mpa(表压力），流量规格≤10SLM | ||
系统连接方式 | 采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪 | ||
系统真空范围 | 标准大气压～10-3Pa | ||
真空泵 | 简单机械泵抽真空和不锈钢法兰 10-1Pa真空机械泵及真空计 10-2Pa真空机械泵、扩散泵及真空计 10-3Pa真空机械泵、分子泵及真空计 | ||
炉腔尺寸/mm | 700X350X530 | ||
加热腔(标配) | 0.5-3L 2个 | ||
加热腔大小 | 0.94L，2.12L，3.8L | ||
升温速率(标配) | 0～1000℃/min可根据实际任意设定，可编程、分段加热 | ||
外型尺寸/mm | 1500´750´1560 | ||
微波泄漏/ mw/cm2 | ≤0.4 | ||
提供相关配件 | 防护手套×1、中文说明书×1 | ||
保质期 | 整机免费保修1年 | ||
