其他品牌 品牌
经销商厂商性质
南京市所在地
产品规格
•大流量至3 slpm (0.2 NM3/hr)
•材质均为316L不锈钢与镍200垫片
•0.003 μm PALL不锈钢颗粒过滤器
•外径1.5 英寸(38.1 毫米)。
含垫片总长3.31 英寸(84.07 毫米)
•内表面粗糙度< 10 μin Ra
•大工作压力1000 psig (7 MPa)
•工作温度小于70°C
NP-Filter是一款小型的纯化/过滤器组合,专
为安装在制程工具内部设计,实现次微米级制造工艺所需的
高纯度气体要求。
NP-Filter的设计可保证在安装纯化器时媒介部分的
密封性及在拆除时减少内部残留气体的泄漏。
NP-Filter防范了所有可能导致污染的来源,包括各种气
体支路引入的杂质。
NP-Filter可直接替换颗粒过滤器安装,较典型的安装位
置在制程室或质量流量计之前。