激光划片机GR-410
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概述
GR-410系列激光划片机，配置进口激光器，加工效率高，质量稳定， 设备简单易操作；提供传统矩形GPP晶圆的全切割/半切割划片方式， 可升级提供六边形划切（三角形切割方式）。
全系列产品分为四款设备：
GR-410和GR-410Z两款设备支持划切产品为正面沟槽去除玻璃后的 GPP产品或晶圆背面制作标记图形的产品。正面对准正面划切，不支持 底部对准功能。
GR-410D和GR-410DZ两款设备拥有的双光路系统，为单面光 刻晶圆提供了背面划切方案与背面打标方案。正面对准正面/背面划切， 支持底部对准功能。
性能指标
| 划切参数 | 划切对象 | 4寸至6寸GPP晶圆和硅晶圆 |
| 划切方式 | 等距矩形切割，支持三角形切割（手动对准） | |
| 激光参数 | 光纤激光器，功率20W | |
| 划切速度 | W250mm/s | |
| 切割精度 | ±0.003mm | |
| 切割线宽 | 0.035-0.055mm | |
| 切割深度 | <0.12mm | |
| 工作台参数 | 工作范围 | 220mm*200mm |
| 工作台分辨率 | 0.0005mm | |
| 旋转电机行程 | 360° 185° | |
| 旋转电机定位精度 | 30” | |
| Z向定位精度 | 0.01mm | |
| Z向激光调焦行程 | 20mm | |
| 其他 | 自动对位范围 | 35mil-305mil |
| 自动对位精度 | 0.01mm | |
| 外形尺寸 (WxDxH) mm | GR-410/GR-410D | 760x1165x1650 |
| GR-410Z/GR-410DZ | 940x1165x1650 | |
| 设备重重kg | GR-410/GR-410D | 750 |
| GR-410Z/GR-410DZ | 800 |
产品特色
●底部对准
●背面打标
●自动上下料
●自动对位
