全自动减薄机GR-8501
品牌
生产厂家厂商性质
所在地
技术特点
●支持轴向进给(In- Feed)磨削原理;
●设备配有在线测量仪单元，精确控制减薄厚度;
●配有具有自主产权的8英寸超精密空气主轴;
●粗磨和精磨轨迹重合技术，有效提高减薄加工稳定性，保证加工精度;
●设备通过优化研磨和传输系统参数，可实现100μm以下精密减薄。
性能指标
| 全自动减薄机 | GR-8501 | |
| 加工物尺寸 | Φ200mm | |
| 主轴 | 主轴数量 | 2 |
| 输出功率 | 5.5KW | |
| 转速 | 1000-6000rpm | |
| Z轴 | 行程 | 120mm |
| 进给速度 | 0.00001〜0.08mm/s | |
| 返回速度 | 50mm/s | |
| 分辨率 | 0.1μm | |
| 承片台数量 | 3 | |
| 工作台转速 | 0-300rpm | |
| 减薄精度 | 片内厚度偏差 | <3μm |
| 片间厚度偏差 | <±3μm | |
| 表面粗糙度Ra | <0.2μm (2000#Grinding wheel, Si) | |
| 测量仪 | 测量范围 | 0-1800pm |
| 分辨率 | 0.1μm | |
| 重复精度 | ±0.5μm | |
| 其他规格 | 外形尺寸(WxDxH) | 1200mmx2760mmx1950mm |
| 设备重量 | ≈3800 kg | |
