全自动减薄机GR-1251-格润智能装备（深圳）有限公司手机版

产品简介

技术特点●支持轴向进给(In-Feed)磨削原理;●设备配有在线测量仪单元，精确控制减薄厚度;●配有具有自主产权的12英寸超精密空气主轴;●粗磨和精磨轨迹重合技术，有效提高减薄加工稳定性，保证加工精度;●设备具备扩展功能，可与单轴抛光机、多功能晶圆保护膜处理设备组成联机系统，实现晶圆减薄到去应力技术的一体化

详细介绍

技术特点
●支持轴向进给(In- Feed)磨削原理;
●设备配有在线测量仪单元，精确控制减薄厚度;
●配有具有自主产权的12英寸超精密空气主轴;
●粗磨和精磨轨迹重合技术，有效提高减薄加工稳定性，保证加工精度;
●设备具备扩展功能，可与单轴抛光机、多功能晶圆保护膜处理设备组成联机系统，实现晶圆减薄到去应力技术的一体化。

性能指标

全自动减薄机		GR-1251
加工物尺寸		Φ300mm
主轴	主轴数量	2
	输出功率	7.5KW
	转速	1000-4000rpm
Z轴	行程	120mm
	进给速度	0.00001〜0.08mm/s
	返回速度	50mm/s
	分辨率	0.1μm
承片台数量		3
工作台转速		0-300rpm
减薄精度	片内厚度偏差	<3μm
	片间厚度偏差	<±3μm
	表面粗糙度Ra	<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)
测量仪	测量范围	0-1800μm
	分辨率	0.1μm
	重复精度	±0.5μm
其他规格	外形尺寸(WxDxH)	1445mmx3330mmx1895mm
其他规格	设备重量	≈5000 kg