全自动减薄机GR-8500
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技术特点
●支持轴向进给(In- Feed)磨削原理;
●可选配单测头式测量仪和双测头式测量仪;
●可带框架磨削异形片，设备可对应8英寸的框架;
●双轴三承片台结构，粗磨精磨磨削同时进行，加工效率大幅度提高;
●粗磨精磨轨迹统一，提高加工质量稳定性。
性能指标
| 自动减薄机 | GR-8500 | |
| 加工物尺寸 | Φ200mm | |
| 主轴 | 主轴数量 | 2 |
| 输出功率 | 4.2/5.5KW | |
| 转速 | 1000-6000rpm | |
| Z轴 | 行程 | 120mm |
| 进给速度 | 0.00001~0.08mm/s | |
| 返回速度 | 50mm/s | |
| 分辨率 | 0.1pm | |
| 承片台数量 | 3 | |
| 工作台转速 | 0-300rpm | |
| 减薄精度 | 片内厚度偏差 | <3μm |
| 片间厚度偏差 | <±3μm | |
| 表面粗糙度Ra | <0.2μm （2000#Grinding wheel, Si） | |
| 测量仪 | 测量范围 | 0-1800μm （选配） |
| 分辨率 | 0.1μm （选配） | |
| 重复精度 | ±0.5μm （选配） | |
| 其他规格 | 外形尺寸(WxDxH) | 1200mmx1800mmx1910mm |
| 设备重量 | ≈3300 kg | |
