全自动减薄机GR-6110-格润智能装备（深圳）有限公司手机版

产品简介

技术特点●同时支持深切缓进给(Creep--Feed)和轴向进给(In-Feed)磨削原理;●可选配全自动上下料系统，设备可由自动减薄设备变为全自动减薄设备;●GPP行业应用优势明显;●高加工效率，4英寸GPP用硅晶圆UPH可达360pcs/h;●节省空间的设计，占地面积仅为1.01m,兼顾小型化及高性能比

详细介绍

技术特点
●同时支持深切缓进给(Creep- -Feed)和轴向进给(In- Feed)磨削原理;
●可选配全自动上下料系统，设备可由自动减薄设备变为全自动减薄设备;
●GPP行业应用优势明显;
●高加工效率，4英寸GPP用硅晶圆UPH可达360pcs/h;
●节省空间的设计，占地面积仅为1.01m,兼顾小型化及高性能比。

性能指标

自动减薄机		GR-6110
加工物尺寸		Φ156mm
主轴	主轴数量	1
	输出功率	7.5KW
	转速	1000-6000rpm
Z轴	行程	120mm
	进给速度	0.00001~0.08mm/s
	返回速度	50mm/s
	分辨率	0.1pm
承片台数量		4 (可定制)
工作台转速		0-20rpm
减薄精度	片内厚度偏差	<5μm
	片间厚度偏差	<±5μm
	表面粗糙度Ra	<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)
测量仪	测量范围	不适用
	分辨率
	重复精度
其他规格	夕卜形尺寸(WxDxH)	750mmx1350mmx1750mm
其他规格	设备重量	≈2000 kg