封闭式离子源气体分析仪凭借优于1ppm的检测极限，mTorr压力下的直接采样，以及用户方便操作的Windows软件包，CIS系统将满足严苛的制程。如：在线过程监控、使用点工艺气体纯度验证、高真空残余气体分析和工艺设备泄露检测等领域。

封闭式离子源气体分析仪特点

100、200、300amu质量数可选

1ppm 检测极限

操作压力可至10mTorr

检测极限1 × 10E−12 Torr

RGA Windows & LabVIEW软件包

现在可更换电子倍增器和灯丝

RGA和真空系统封闭式

制程监控系统

PPR过程监控系统设计用于在线过程监控和诊断。残余气体分析仪（RGA）有两条通路：一条用于监测基本真空的高导电通路和一条用于监测工作压力下工艺的减压通路。减压通道拥有一个小孔，其设计用于以下压力之一下工作：0.01、0.1、1、10Torr。它将样品的压力降低到RGA工作的压力（约10E-6Torr）。这种降压是有一个涡轮分子泵和一个隔膜泵组成的真空系统维持的，两个泵都是无油真空泵，不会污染工艺过程。

此系统包括一个RGA、旁通阀总成和三通、ECU控制器、涡轮分子泵、隔膜泵和用于数据采集和控制的Windows软件程序。系统软件可在各种模式下操作仪器，包括模拟扫描、柱状图分析和压力、时间的模式。

法拉第杯和电子倍增器都是标准的配置，电子倍增器可提供更高的灵敏度和扫描速度。PPR系统在发货时已经*组装并且校准，可直接连接到真空腔室。