品牌
生产厂家厂商性质
所在地
产品规格
型号 | JL-VM-060 | JL-VM-100 | JL-VM-150 | JL-VM-200 |
腔体材质 | SUS316 | SUS316 | SUS316 | SUS316 |
容量 | 60L | 100L | 150L | 200L |
外形尺寸MM | 950(L)*1000(W)*1800(H) | 1050(L)*1000(W)*1800(H) | 1100(L)*1100(W)*1800(H) | 1300(L)*1200(W)*1800(H) |
腔尺寸 MM | 400*450*400 | 500*450*500 | 500*500*650 | 500*600*700 |
电源频率 | 13.56MHz (40KHz) | 13.56MHz (40KHz) | 13.56MHz (40KHz) | 13.56MHz/40KHz (40KHz) |
真空度 | 5~100Pa | 5~100Pa | 5~100Pa | 5~100Pa |
气体流量 | 0~500SCCM | 0~500SCCM | 0~500SCCM | 0~500SCCM |
清洗时间 | 0~100分钟可调 | 0~100分钟可调 | 0~100分钟可调 | 0~100分钟可调 |
冷却方式 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷/水冷 |
气体通道 | 二路 | 二路 | 二路 | 二路 |
真空泵 | 真空泵+罗茨泵 | 真空泵+罗茨泵 | 真空泵+罗茨泵 | 真空泵+罗茨泵 |
更多详细参数情况建议联系深圳金徕 |