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LED封装等离子清洗机是一款针对LED封装工序设计,主要对污染物的去除,氧化层还原,表面性能活化等功效,增强材料表面的打线,粘接工艺能力,有利于下一道工艺的进行。
产品规格
型号 | JL-IVM-021 |
外形尺寸MM | 850(W)*950(D)*1650(H) |
腔尺寸 MM | 500(W)*450(D)*550(H) (120L) |
腔体材质 | 316不锈钢 |
等离子发生器 | 13.56MHz,50~1000W自动调节。 |
真空度 | 5~30Pa |
气体通道 | 2路(Ar/N2) |
冷却方式 | 风冷 |
真空泵 | 真空泵+罗茨泵 |
控制方式 | PLC+人机 |
真空硅 | 电容式 |
压缩空气 | 0.5~0.6MPa |