EVG GEMINI晶圆键合系统
品牌
其他厂商性质
所在地
亚科电子(包括亚科电子(香港)有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等)
组合推荐相似产品
EVG IQ Aligner光刻系统
EVG Hercules光刻系统
EVG IQ Aligner NT光刻系统
EVG 610(NIL)纳米压印系统
EVG 620NT(NIL)纳米压印系统
EVG 720纳米压印系统
EVG 6200NT(NIL)纳米压印系统
EVG 7200纳米压印系统
EVG Hercules NIL纳米压印系统
EVG 101涂胶/喷胶/匀胶系统
EVG 520 HE热压印系统
EVG 770纳米压印系统
产品简介:
EVG GEMINI是一款全自动多腔室晶圆键合工艺平台,实现了高程度的集成度和自动化,适用于大型量产。
主要特点及参数:
·支持12英寸(300mm)晶圆
·最多兼容4个键合腔室和6个预处理腔室
·兼容底部对准、红外对准以及SmartView对准
·可选配模块:
低温等离子体活化
晶圆清洗
涂胶模块
UV固化模块
烘烤/冷却模块
对准验证模块
首页
展台
留言
收藏
联系方式
请选择您要拨打的电话: