EVG 620NT（NIL）纳米压印系统-亚科电子（包括亚科电子（香港）有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等）手机版

EVG 620NT（NIL）纳米压印系统

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亚科电子（包括亚科电子（香港）有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等）

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产品简介

主要特点及参数：

产品简介：EVG 620NT（NIL）是一款基于EVG620NT光刻机的紫外纳米压印设备，基于Smart NIL掩膜对准技术

主要特点及参数：

·支持6英寸（150mm）晶圆

·分辨率可达40nm（取决于模版和工艺条件）

·支持汞灯或的UV-LED光源

·可选配功能：

键合对准

红外对准

SmartNIL

微接触印刷

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