EVG 610(NIL)纳米压印系统
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亚科电子(包括亚科电子(香港)有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等)
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产品简介:
EVG 610(NIL)是一款基于EVG610光刻机的紫外纳米压印设备,可针对压印、光刻、对准功能进行快速转换。
主要特点及参数:
·支持6英寸(150mm)晶圆
·分辨率可达40nm(取决于模版和工艺条件)
·支持汞灯或的UV-LED光源
·可选配功能:
键合对准
红外对准
纳米压印光刻(NIL)
微接触印刷
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