等离子净化器又称低温等离子体废气净化器，在电催化的总体设计理念下，分为三个独立的混合激励系统：微波激发区、等离子体激发区和平板激发区。每个触发区都有其特定的功能，但原则上有其相似之处。

工作区组成

1：微波激发区

在这个过程中有3到9个微波激发装置。由于微波的频率相对较高，因此在纳秒时间内，根据待加工空气量的不同，微波作用在处理空间(区域)上。由于微波的功率相对较小，也就是说，电子能量转换的能力是有限的。在本设计中，微波仅作为初始频率激励源，作为加工过程中的一种预激能。由于微波的预激作用，等离子体区和平板区的激发能力和处理效果都有了很大的提高。由于微波技术的应用，该工艺在同类设备的比较中具有较高的精度和优越性。

2：低温等离子体激发

在这个过程中，有40到240个低温等离子体激发区充满气体。低温等离子体区是该工艺的核心技术，许多机械室认为低温等离子体可以在常压下实现。从大量的实验来看，大气压低温等离子体在工业中的应用仍然非常困难。利用低压感应灯作为低温等离子体的激励器，可以在管区很大程度上实现低温等离子体区。由于低温等离子体在能量转换过程中的能量平衡，粒子撞击过程中能量损失很小。所以低温等离子体作为原子激发是一种能量。实际上，大的的问题是低压是多少帕？哪种汽油经济？只有通过实践、实验和分析，才能提出理论模型。

3：板块面积

根据被试体的流量，将板间电压划分为12 kv、16 kv~42 kV，板间电压较高。在空气分流作用下，由于负压作用，根据法拉第暗区理论、光电离理论和自由电离理论，极有可能在大气压或近大气压下实现低温等离子体。

按照三大功能区的要求，浓缩的目的是实现低温等离子体。由于理论条件和实际条件的差异，单一的低温等离子体获取方法，在功率和外部条件上存在差距，该工艺集成了三项技术，通过山东、江苏、浙江等多家制药化工企业的现场试验，原废气的去除率非常理想。根据尼普公司的测试，高浓度废气的去除率可达84%以上。

电催化氧化工艺集成了低温等离子体、微波放电和平板放电。在实际应用中实现废气处理是一个非常复杂的过程，整个过程在1秒内完成。相关机制可以从理论到模型进行探讨。通过三种方式的集中放电，废气分子从低能e过渡到EM水平，足以使它们在1/1000秒内电离。废气的分子键全部断裂，碰撞破裂后的粒子与反应器中的氧离子、氢氧和氧离子发生进一步的转变和反应，因为它们的质量较小，并有进一步的过渡。生产无味的CO2，PO和其他高价态化合物。同时，由于臭氧和紫外线在反应器中的作用，不同种类的废气化合物被去除，而且该行业具有广泛的去除空间。