等离子体废气处理设备，又称低温等离子体废气处理设备，在电催化的总体设计理念下，分为三个独立的混合激励系统：微波激发区、等离子体激发区和平板激发区。每个触发区都有其特定的功能，但原则上有其相似之处。

净化原理

低温等离子体技术处理污染物的原理是：在外加电场的作用下，电介质轰击污染物分子产生大量能力好电子，使其电离、离解和激发，然后引发一系列复杂的物理和化学反应，将复杂的大分子污染物转化为简单的小分子物质，或转化为低毒低毒的物质，从而使污染物得以降解和去除。由于电离后产生的电子平均能量为10 eV，通过适当控制反应条件，可以实现难以实现或反应速度慢的化学反应。等离子体作为环境污染治理行业的一个潜在优势，一直受到相关学科的高度关注。

应用

低温等离子体技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性废气也日渐增多，这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生大的危害；另外工业烟气的无控制排放使性的大气环境日益恶化，酸雨(主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物)的危害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。

传统的降解挥发性污染物(VOCs)的方法，如吸附、吸附、冷凝、燃烧等，对于低浓度的VOCs难以实现，光催化降解VOCs存在催化剂易失活的问题。低温等离子体处理VOCs不受上述条件的限制，具有潜在的优势。等离子体是一门集放电物理、放电化学、化学反应工程和真空技术于一体的跨学技术科。因此，能够成熟和掌握这一技术的单位少见。大多数宣传使用低温等离子体技术处理废气，并不是在低温等离子体废气处理技术的意义上。