低温等离子体技术作为近年来兴起的新技术备受人们的关注，尤其是在处理大气污染问题方面。低温等离子体法工作过程为通过气体放电产生高能电子，当电子能量足够高时，再与气体分子或原子发生碰撞，就可以使几乎所有的分子激发、电离和自由基化，产生一系列的活性基团，如O₃、O·、OH·和N·等，这些高能量活性基团与污染物分子发生碰撞及氧化分解反应，短时间内就可将其降解为CO₂、H₂O及小分子有机物。由于该方法具有去除效率高，能量利用率高，反应设备结构简单易操作等优点，国内外有许多研究者都致力于该方向的研究，且在处理有机废气、氮氧化物、硫氧化物、颗粒物、微生物污染和水中污染物等方面开展了广泛的研究。低温等离子体法在净化处理低浓度大风量的有废气时气展现出较好的优势，因此在环境污染物处理领域中，被认为是有较高发展前景的*之一。

一般认为低温等离子体降解处理VOCs的过程分为三步：首先通过气体放电产生低温等离子体；然后其内部的高能电子和活性基团与VOCs碰撞，使其呈高能量激发态，进而进行分解；最后，第二部反应过程中生成的不稳定物质相互碰撞反应变成相对稳定的新物质。常用的低温等离子体产生技术主要有电子束照射法、电晕放电法及介质阻挡放电法等。