磁控AF镀膜机-湖南宇晶机器股份有限公司手机版

产品简介

总功率：148KW尺寸：W4500×D6000×H3250mm机器重量：9(t)设备专门用于IT 制造业结构件真空镀膜加工，各系统单元和总体构成满足光学和功能薄膜生产工艺要求，适用AR膜、NCVM颜色膜、金属装饰膜、金属功能膜、AF功能膜等。The equipment is specially used for vacuum coating processing of struct......

详细介绍

设备专门用于IT 制造业结构件真空踱膜加工，各系统单元和总体构成满足光学和功能薄膜生产工艺要求，适用AR膜、NCVM颜色膜、金属装饰膜、金属功能膜、AF功能膜等。
该渡膜机镀膜机采用立式箱体，前置室门上装有观察窗，箱内安装转架驱动，炉内安装烘烤系统，后置排气法兰连接高真空泵;

1) 前级真空：由旋片泵、罗茨泵构成;

2) 高真空：扩散泵、超低温冷凝水捕集泵(Polycold) , 真空室和扩散泵冷阱;

3) 抽气系统：由各级泵、管道和阀门，在系统的控制下完成启动、粗抽精抽、待命和维持流程。

项目	规格
成膜系统	1）中频电源旋转阴极李生圆柱靶1, 另外预留对靶位（电源可转换分别驱动两套靶） 2）8舟阻抗式蒸发源2; 3）离子轰击棒*4。
工作模式	离子清洗、加热蒸发，石英晶体薄膜厚度控制器监控膜厚并自动判停。
工艺流程	装夹－抽真空－离子清洗－电子枪蒸渡－阻抗式蒸发AF- 进气、出炉。
功率	总功率148KW, 平均功率48KW
设备外尺寸及总重	1）主框架及控制柜，不开门 W4500× D6000× H3250 , 开门 W4500×D7300× H3250; 2）粗抽泵组及粗抽管占地：2000×1500; 3）主框架外部必要的操作和维护维护空间：水平方向外延伸 800mm; 垂直向上延伸 400mm 4）总重：9 吨