光学电子束蒸发式镀膜机-湖南宇晶机器股份有限公司手机版

产品简介

总功率：120KW尺寸：W5600×D6300×H3170mm机器重量：15(t)设备专门用于IT 制造业结构件真空镀膜加工，各系统单元和总体构成满足光学和功能薄膜生产工艺要求，适用AR膜、NCVM颜色膜、金属装饰膜、金属功能膜、AF功能膜等。The equipment is specially used for vacuum coating processing of struc......

详细介绍

设备专门用于IT 制造业结构件真空踱膜加工，各系统单元和总体构成满足光学和功能薄膜生产工艺要求，适用AR膜、NCVM颜色膜、金属装饰膜、金属功能膜、AF功能膜等。
该渡膜机镀膜机采用立式箱体，前置室门上装有观察窗，箱内安装转架驱动，炉内安装烘烤系统，后置排气法兰连接高真空泵;

1) 前级真空：由旋片泵、罗茨泵构成;

2) 高真空：扩散泵、超低温冷凝水捕集泵(Polycold) ,真空室和扩散泵冷阱;

3) 抽气系统：由各级泵、管道和阀门，在系统的控制下完成启动、粗抽精抽、待命和维持流程。

项目	规格
成膜系统	1）电子枪，10KW,电子束偏转角270度; 2）终端霍尔型离子源，3KW。 3）双舟阻抗式蒸发源（共5KW），用于镀制 AF膜层。
工作模式	离子清洗、电子束蒸发，石英晶体薄膜厚度控制器监控膜厚并自动判停。
工艺流程	装夹－抽真空－离子清洗－电子枪蒸踱－阻抗式蒸发AF- 进气、出炉。
功率	总功率 120KW，平均功率60KW
设备外尺寸及总重	1）主框架及控制柜，不开门 W5600×D6300×H3170，开门 W5600×D8500×H3170； 2）粗抽泵组及粗抽管占地：W2000×D1500； 3）主框架外部必要的操作和维护维护空间：水平方向外延伸 800mm;垂直向上延伸 400mm。 4）总重：15吨