技术参数（无负载，20摄氏度）
步进电机驱动 直流伺服电机驱动
行程 400/600mm 1000/1500mm 400/600mm 1000/1500mm
速度/*大 80mm/s 80mm/s 150mm/s 150mm/s
负载/*大 1500N 1500N 1500N 1500N
驱动力/*大 400N 400N 100N 150N
螺距 5mm 5mm 5mm 5mm
重复定位精度/双向 <3um <3um <3um <3um
位置误差 <10um/100mm <10um/100mm <10um/100mm <10um/100mm
偏转角 <75urad <150urad <75urad <150urad
俯仰角 <75urad <150urad <75urad <150urad
垂直偏差 <2um/100mm <2um/100mm <2um/100mm <2um/100mm
水平偏差 <2um/100mm <2um/100mm <2um/100mm <2um/100mm
电机电压/*大 40V 40V 24V 50V
保持电压 6.2V 2.5V
电机电流/*大 1.4A 3.2A 3.9A 4.9A
每转步数 200 200 10000 10000

• 高强度铝合金材质
• 400/600/1000/1500mm行程可选，*长可达1500mm
• 双向重复定位精度优于3um
• 无空回球形螺杆
• 预紧球形轴承
• 高精度Hall-effect 限位开关

可选项
• 机械限位开关
• 制动刹车
• 光栅尺（精度±3 µm/m 分辨率0.1 µm）

德国OWIS公司的LIMES170系列高精度线形位移台被广泛应用于科研及工业领域，特殊的导轨实现了无空回和高负载能力，预紧球形螺杆确保了高精度和长寿命，铝质材料表面均采用特殊工艺上等黑色电镀。