技术参数（无负载，20摄氏度）
步进电机驱动 直流伺服电机驱动
行程 100/200/300mm 100/200/300mm
速度/*大 40mm/s 80mm/s
负载/*大 600N 600N
驱动力/*大 170N 60N
螺距 2mm 2mm
重复定位精度/双向 <2um <2um
位置误差 <10um/100mm <10um/100mm
偏转角 <60urad <60urad
俯仰角 <80urad <80urad
垂直偏差 <3um/100mm <3um/100mm
水平偏差 <3um/100mm <3um/100mm
电机电压/*大 40V 23V
保持电压 4.88V
电机电流/*大 1.4A 2.44A
每转步数 200 5000

• 高强度铝合金材质
• 100/300/300mm行程可选，*长可达300mm
• 双向重复定位精度优于2um
• 无空回球形螺杆
• 预紧球形轴承
• 高精度Hall-effect 限位开关

可选项
• 机械限位开关
• 制动刹车
• 光栅尺（精度±3 µm/m 分辨率0.1 µm）

德国OWIS公司的LIMES150系列高精度线性位移台被广泛应用于科研及工业领域，特殊的导轨实现了无空回和高负载能力，预紧球形螺杆确保了高精度和长寿命，铝质材料表面均采用特殊工艺上等黑色电镀。