菲索型激光干涉仪，具有的环形光源伪迹消除

　　抑制技术，是一种高精度、共光路面形计量干涉仪。ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire激光干涉仪，继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的一切优点，交融了机械相移技能、革命性的数据收集技能、高性能的光电成像系统、振荡补偿软件、非球面测量技能和波纹抑制技能等，是ZYGO技术的集中体现。Zygo新推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。

　　测长仪系统:

　　◆测量功用：精细测量各种反射面和光学系统的表面面形、精细测量光学系统的传输波前

　　◆测量技能：机械相移干涉测量（PSI）

　　◆校准系统：快速条纹采样系统(QFAS)(双光点定位于十字线)

　　◆测量光束直径：4″（102mm）或6″（152mm）

　　◆对准视场规模FOV：4″：±3°；6″：±2°；

　　◆光学中心线：4.25″（108mm）

　　◆激光光源：大功率稳频氦-氖激光，III

　　◆波长：633 nm

　　◆频率稳定度：<0.0001 nm

　　◆相干长度：＞100m

　　◆成像分辨率：1000 x 1000像素

　　◆帧速：43Hz

　　◆数据收集时刻：302ms

　　◆数据形式：8位

　　◆扩大：电控数显扩大1-5X

　　◆偏振：挨近圆偏振（1.2：1或许更好）

　　◆光曈调焦规模：4″：±2.5m；6″：±5.5m；

　　◆计算机和软件：高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO软件MetroproTM X和MetroproTM 9

　　◆安装构造：水平卧式或垂直立式

　　◆附件：详细参考ZYGO激光干涉仪附件导游文件，OMP-0463

　　◆尺度(长x宽x高)：4″：69 x 31 x 34 cm(27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm（36.4 x 12.1 x 13.4 in.）

　　性能参数：

　　◆RMS重复性：<0.06 nm,λ/10,000(2σ)

　　◆RMS波前重复性：<0.35 nm,λ/1800(mean+2σ)

　　◆像素峰值误差：<0.5 nm,λ/1200(99.5th%)

　　工作环境：

　　◆温度:15°C-30°C(59°F-86°F)

　　◆温度改变率：＜1.0°C/15min

　　◆湿度:相对湿度5%-95%,无凝结

　　◆隔振:机械移相测量形式推荐运用被迫隔振系统。