GPI XP/D激光干涉仪--运用移相干与原理，供给高精度的平面面形，球面面形，曲率半径，样品表面质量，传输波前的测量和分析。GPI XP/D是ZYGO在中国乃至较高的一款激光干与仪，广泛应用于科研教育和生产检测中。GPI XP/D主机为Fizeau型干与仪，测量精度高且操作简单，选用精密移相技能和高分辨率CCD接收器件640Х480（可以升级为1024×1024），合作功能强大MetroPro软件可以获得高重复性和高精度的测量成果，其三平板测量重复性优于λ/300，rms重复性优于λ/10,000。并能模仿样品表面面形，并显示明显的，可旋转的3D彩色图画，可选的剖面图以及各种统计数字成果等。同时，针对特别的样品、特别的测量需求，可以为用户规划定制特别的测量系统，结合MetroPro软件，为用户供给的技能解决方案并获得满意的测量成果。

　　系统：

　　◆测量功用：精细测量各种反射面和光学系统的外表描摹及特性

　　◆测量方法：激光3维相移干涉法

　　◆测量功用：精细测量各种不同反射面或光学面的描摹及特性

　　◆测量光束直径：4″(102 mm)和6″(152 mm)

　　◆装备：水平式,立式向下或立式向上

　　◆光学中心线：4.25″(108 mm)

　　◆对准系统：快速条纹采样系统(QFAS)(双光点定位于十字线)

　　◆扩大规模：6:1（非接连式扩大，低失真）

　　◆调整可视规模：4″:±3°6″:±2°

　　◆光曈调焦规模：-800 mm/+1600 mm，4″孔径

　　◆样件观察：计算机实时显现/单独监视器

　　◆计算机：DELL PC；配有硬盘，光驱，17英寸液晶彩显,可选配打印机

　　◆软件：Microsoft??Windows XP专业版下运行的ZYGO MetroProTM软件

　　◆尺寸(高x宽x长)：水平式4″:308 x 694 x 308 mm，水平式6″:308 x 992 x 308 mm，立式:H x 686x686 mm

　　激光：

　　◆类型：II级氦-氖激光

　　◆波长：632.8 nm

　　◆通光孔径输出功率：≤1 mw

　　◆光束偏振态：圆偏振，可选线偏振开关

　　◆相干长度：＞100 m

　　样件特性：

　　◆材质：各种不同的玻璃、超精加工金属、陶和塑料

　　◆预处理：无需特殊处理，非接触、非破坏性测量，在现场环境中操作。

　　◆样件大小(高x宽x长)：254 x 203 x 203 mm（带2轴调整架）

　　◆样件分量：≤22.7 Kg（带2轴调整架）

　　◆反射率：0.1%-

　　性能参数：

　　◆3平板测量重复性：λ/300(2σ)

　　◆RMS重复性：2λ/10,000(2σ)

　　◆数据采样：640x480像素,8位，可选：1K x 1K像素

　　◆分辨率：>λ/8,000

　　◆条纹分辨率：180条纹

　　◆数据采样时刻：低分辨率(7幅数据图画):93 ms，高分辨率(13幅数据图画):173 ms

　　环境要求：

　　◆温度：15°C-30°C(60°F-95°F)

　　◆温度变化率：<1.0°C/15min

　　◆湿度：相对湿度5%-95%,无凝结

　　◆防震：需要阻隔1-120Hz的轰动