产品描述

LJ-16T高真空热蒸发镀膜仪（镀膜机），由裕隆时代公司精心设计制作，是专为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备。可以在高纯氩气保护下进行多种离子处理，也可真空蒸碳和真空蒸金属。用于样品的外貌观察，尤其对成份定量分析更为适宜。采用分子泵系统，特别适于对真空要求高，真空环境好的用户选用。 应用领域：离子喷涂、离子溅射、离子清洗、真空蒸碳、真空蒸金属等工作。

技术参数 

仪器尺寸：480mm W x 320mm D x 240mm H

工作腔室：硼硅酸盐玻璃 160mm Dia x 120mm H 

真空系统：  涡轮分子泵，抽速为70L/s

旋转机械泵：抽速为2L/s两级旋转机械泵，带防返油电磁阀及油污过滤器 

真空测量：采用复合真空计监测真空

极限真空度:  10-4mbar两级

工作真空度：10-1mbar（溅射真空度手动调整）

工作气体：溅射工作气体:氩气

溅射电流：0-20mA（磁控溅射靶0-100mA）

微调真空气阀：可连接φ3mm软管

电源：230伏/50Hz(包括泵电流为6安培)