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布鲁克Bruker白光干涉光学轮廓仪 Contour X, 满足微纳米表面测量需要
简介：
•桌面型精巧款式
•采集数据，自动测量，分析和数据后处理，一气呵成的完备方案
•样品尺寸:
•150 mm x 150 mm x 92 mm
•承载 4.5 kg
•垂直分辨率: < 0.01nm @ 所有视场下
•横向分辨:
•0.3µm (±150nm)
•AcuityXR 0.15µm (±75nm)
•基于白光干涉原理，结果可溯源
白光干涉技术内在优势
垂直分辨率
普适性，易于操作、各种样品类型与表面
计量
硬件，为性能所做优化
物镜，为挑战性测量专门设计
完备的自动化测量系统标准配置
的缝合功能
针对不同应用下，提升效率
ContourX
关键好处
高质量计量
作为桌面型轮廓仪
布鲁克白光干涉轮廓仪
专为您的应用服务
•从每日测试挑战到满足严苛要求，可靠的表面计量
•不同应用示例：展示布鲁克白光干涉独到之处
•薄膜与镀层
•精密加工
•材料研究
•MEMS与传感器
•光学元器件
•半导体
•摩擦学
薄膜与镀层：表面粗糙度与厚度，的准确性
表面粗糙度与平整度
满足您的严苛要求
材料研究：表面纹理，揭示最微小的细节
MEMS和传感器
关键尺寸– 质量控制，匹配您的所有需求
关键尺寸– 质量控制，完备的自动化组件
光学元器件：全频谱密度的粗糙度信息
光栅与光学器件，亚微米计量
微型光学形貌表征
缺陷侦测
半导体：质量监控与工艺开发，匹配您的应用需求
质量监控与工艺开发，完备的软件平台
关键尺寸– 质量控制
完备的自动化组件
摩擦学
表面纹理与磨损体积（速率）
满足您对准确性的需求
