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面精度保证反射镜也叫做高平整度反射镜，在众多的西格玛光机反射镜中，由于面型精度高而出色，高精度反射镜专为ND YAG激光器以及更高频率激光器而设计。西格玛光机OptoSigma的高平整度反射镜(High Surface Accuracy Mirrors)在镀膜后表面精度可达到λ/10
高面型精度反射镜的主要特点：
- OptoSigma高精度平面反射镜的表面精度（镀膜后）比以往的标准多层电介质膜平面反射镜（TFM）更高。
- 通过使用合成熔融石英和增加基板厚度，可以提高Sigma反射镜的刚度。
- 西格玛光机反射镜包括用于紫外、YAG和其他激光器等各种波长的高反射镜。
| 共同参数 | |
| 材质 | 合成熔融石英 |
| 镀膜 | 多层电介质涂层 |
| 入射角 | 45°±3° |
| 表面精度 | λ/10 |
| 平行度 | ＜3′ |
| 表面质量 | 10-5 |
| 有效直径 | 外径的80% |
| 反面 | 光学抛光 |
该系列反射镜专为波长1064nm的ND YAG激光器以及波长248nm的更高频率激光器而设计。光学镀膜为多层电介质膜，这款多层电介质镜的入射角度是45°±3°，反射率高达R>99.5%，损伤阈值高达20J/cm2。高精度反射镜是通过优化基板材料、厚度和涂层条件实现的，其材质是熔融石英，因此，基板变厚，基板的刚性更好。
西格玛光机反射镜具备很多的标准品，同时，OptoSigma还可根据用户的需求定制生产各种反射镜，有需求的用户可联系我们为您提供更多的详细信息。
面精度保证反射镜图示
高面型精度反射镜的注意事项：
- 该产品不提供标准表面精度数据，若是需要表面精度数据文件，则需要额外的文件制作费用，请联系我们了解详情。
- 对于多层电介质膜，入射光束的偏振态不同，反射率波长特性也不同。P偏振的反射率低于S偏振，且反射带较窄，其中，反射率由P偏振光和S偏振光的平均值来表示。
- 如果不将入射角设置为45°而使用，反射率可能会降低。
- 如果不在适用的波长上使用，反射率也可能会降低。
面精度保证反射镜的表面精度数据（参考数据）：
- 表面精度测量方法：使用Zygo激光干涉仪测量
- 表面精度测量波长：632.8nm
- 表面精确度温度：23°C±2°C
面精度保证反射镜的规格参数表：
| 规格 | 波长 | 直径 | 厚度 | 反射率 | 损伤阈值 |
| HTFM-12.7C08-248 | 248nm | 12.7mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-248 | 248nm | 25.4mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-30C08-248 | 248nm | 30mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50C11-248 | 248nm | 50mm | 11mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-248 | 248nm | 50.8mm | 11mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-266 | 266nm | 12.7mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-266 | 266nm | 25.4mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-30C08-266 | 266nm | 30mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50C11-266 | 266nm | 50mm | 11mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-266 | 266nm | 50.8mm | 11mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-308 | 308nm | 12.7mm | 8mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-308 | 308nm | 25.4mm | 8mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-30C08-308 | 308nm | 30mm | 8mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50C11-308 | 308nm | 50mm | 11mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-308 | 308nm | 50.8mm | 11mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-355 | 355nm | 12.7mm | 8mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-355 | 355nm | 25.4mm | 8mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-30C08-355 | 355nm | 30mm | 8mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-50C11-355 | 355nm | 50mm | 11mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-355 | 355nm | 50.8mm | 11mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-532 | 532nm | 12.7mm | 8mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-532 | 532nm | 25.4mm | 8mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-30C08-532 | 532nm | 30mm | 8mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-50C11-532 | 532nm | 50mm | 11mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-532 | 532nm | 50.8mm | 11mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-1064 | 1064nm | 12.7mm | 8mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-1064 | 1064nm | 25.4mm | 8mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
| HTFM-30C08-1064 | 1064nm | 30mm | 8mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
| HTFM-50C11-1064 | 1064nm | 50mm | 11mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-1064 | 1064nm | 50.8mm | 11mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
*激光脉宽10ns，重复频率20Hz
OptoSigma高精度平面反射镜的外形图和功能说明图：
左图：外形图，右图：功能说明图
OptoSigma高精度平面反射镜的反射率曲线图：
