美国Setra760高精度真空计

美国Setra760高精度真空计

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2023-03-07 16:59:14
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产品简介

美国Setra760高精度真空计

详细介绍

▲适用于与Inconel® 或 Inconel/ 不锈钢相容的气体
▲压力范围:0~10 Torr 至0~1000Torr,0~10 mbar/hpa 至0~1000mbar/hpa,0~2 psia 至0~20psia,0~2 kpa 至0~100kpa
介绍
Setra Model 760 电容压力计是为精确的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程范围从10Torr 到1000Torr。测量单位可以是Torr,mbar/hpa,kpa 或psia。Model 760 的工作电压是15VDC,输出0~10VDC 或0~5VDC,输出与压力成线性关系,而且与气体成分无关。电气连接件可以是工业标准15 针D 型插座或6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和ESD 抑制元件以及输入输出的RFI 过滤等技术,Model 760 具有的EMI/RFI 性能。Model 760 有一个完整的滑面,很容易提供有精确的零点调节和量程调节的多匝电位计。Inconel® 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体,另外可提供不同类型的压力和真空接头。Model 760 中高精度的压力传感元件VactronSensor,是在Setra 技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被Setra 的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号,该集成电路是根据西特技术负荷平衡原理设计的。Model 760 采用革新的传感设计获得了的零点稳定性和大气压非敏感性。Model 760 传感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。
注:Setra 坚持严格的质量标准ANSI-Z540-1。此产品的标定源于NIST。

应用
● 半导体过程工具和装置
● 实验室和研究开发
● 实验和测量
● 度量
● 分析化学系统
特点
■ 的热稳定性
■ 出众的EMI/RFI 性能
■ 低价位
■ 小巧紧凑的结构
■ 耐腐蚀的Inconel® 湿部件
■ 多种压力连接和电气连接方式
■ 符合CE 标准

性能参数

物理参数

电气电压(电压)

精度A

±0.25%of Reading

壳体

铝合金

电路

4线

精度B

±0.15%of Reading

电气连接

15针D型插座或

6位螺纹接线端子

激励

±15VDC,调整范围5%

输出2

0~10VDC或0~5VDC

温度影响

压力接头

见订购信息

功耗

﹤0.5w(﹤15mA)

补偿范围

0~+50℃(+32~+122℉)

腔体体积

6cm3

零点偏移

±0.005%FS/℃

零点/满量程调节

多匝点位计

(在画面底部)

压力介质

与Inconel或InconeV不锈钢相容的气体。Inconel湿部件仅配0.5管的节头,选择其他的

接头增加不锈钢.

满程偏移

±0.02

重量

260克(约9盎司)

分辨率

无限的,仅受输出噪声的限制(0.01%FS)

环境参数

温度

1. 工作温度的限制仅对电子元件而言,压力介质温度可以更高或更低.

2. 采用50K的负载进行标定,可接10000或更大的负载。

耐压

45psia

工作温度1

0~+50℃

时间常数

20ms

储存温度

-50~+125℃

 

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