大行程纳米平移台（压电马达型，10-150mm行程）

超高真空位移平台

高精度压电马达夹爪

电动垂直运动平台-ALIO高精度纳米级高负载

大功率/高压压电促动器

低温位移平台

压电亚纳米/纳米平移台（压电直推型，0-1500μm行程）

快速反射镜/快速倾斜镜

激光束自动准直稳定系统

激光光束指向稳定系统

大角度闭环微型振镜

MEMS扫描镜开发套件