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CS系列数字式质量流量计/质量流量控制器;D07系列模拟式质量流量计/质量流量控制器; PC系列数字式压力控制器;D08系列流量显示仪和积算仪;阀门管件和气体管路系统。
PC100压力控制器
PC100-D型压力控制器是七星流量计生产的数字型压力控制产品,为气体压力的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号和0~5V模拟信号,可以使用单电源(+15~+24 VDC)供电。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。产品标配一个压阻式硅压力传感器和数字电路板,在传感器的驱动,零点漂移的控制和阀控等诸多方面都采用了的技术,保证了产品的高性能、高品质和高...... 参考价面议D08-8C流量积算仪
D08-8C流量积算仪用于为气体质量流量控制器(MFC)和质量流量计(MFM)提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示等。可直接与我公司的质量流量控制器和质量流量计配套使用,也可与国外质量控制器配合使用。流量积算仪除了能显示MFC/MFM的瞬时流量外,还能对流量进行累计并显示。 参考价面议K1000质量流量控制器
K1000为高精度,高稳定性的热式质量流量控制器。它的量程范围从10sccm到1000sccm,K1000A为小流量量程MFC(从10sccm~50slm),具备多气体多量程功能,8种BIN Size能对应10sccm~50slm的所有流量,在校正时事先设定4种气体的数据,通过软件即可进行气体种类、流量的变更设定,操作简便;K1000C为大流量量程(200slm~1000slm),响应速度快(≤3...... 参考价面议DS300质量流量控制器
DS300压力式气体质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器,用于半导体器件的刻蚀、溅射等工艺。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小,精度高,响应速度快,压力不敏感的特点,产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属,金属表面状况符合SEMI标准的要求。 参考价面议D07-60质量流量控制器&流量计
D07-60是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-60产品是七星流量计研发大流量的模拟产品,量程达2000SLM。 参考价面议D07-15质量流量控制器
D07-15是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-15是七星流量计专门针对客户对流量稳定性的需求研发的高稳流型产品。 参考价面议D07-9质量流量控制器&流量计
D07-9是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-9产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。 参考价面议D07-11质量流量控制器&流量计
D07-11是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-11产品是七星流量计研发的高压产品,耐压10MPa。 参考价面议D07-19质量流量控制器&流量计
D07-19是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-19产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。 参考价面议D07-23质量流量控制器&流量计
D07-23F是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-23F产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。 参考价面议D07-7质量流量控制器&流量计
D07-7是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量 。D07-7产品是七星流量计基础款产品,能满足客户流量测控基本需求。 参考价面议CS300质量流量控制器&流量计
CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品,该产品在原有CS200气体质量流上,采用了基于DF的压力信号补小偿算法,全量控制器的基础新的金属表面处理工艺,产品各项技术指标均严格按照SEM标准,支持Ⅵ型,C型GS气路系统。 参考价面议