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质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
满量程流量范围（N2） | 5SCCM～30SLM | |
控制范围 | 2～100％F.S. | |
阀类型（及阀初始状态） | 电磁调节阀（常闭） | |
准确度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
线性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
重复精度 | ±0.2％F.S. | |
响应时间 | ≤4sec | |
工作温度范围 | 5～45℃ | |
工作压差 | ≤10SLM | 0.1～0.5MPa |
＞10SLM | 0.1～0.3MPa | |
耐压 | 3MPa | |
漏气率 | 1×10-9SCCSHe | |
密封材料 | 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 | |
接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm | |
电插头形式 | DB15 pin(Male) | |
抗电磁干扰 | CE | |
重量 | 0.95Kg | |
